Imagen destacada de la placa de pulido de obleas de alúmina al 99,7 %

Placa de pulido de oblea de alúmina al 99,7 %

Breve descripción:

El sustrato de alúmina Chemshun 99,7%Al2O3, un material novedoso de alta pureza y gran tamaño, posee excelentes propiedades físicas y características químicas estables, a un precio competitivo en comparación con otros materiales. La alúmina de alta pureza se desarrolla continuamente gracias a la investigación de vanguardia y a las fábricas de cerámica fina más avanzadas del mundo.

Placa de pulido de obleas de alúmina al 99,7% para pulido químico-mecánico (CMP). Un componente importante del proceso de pulido químico-mecánico (CMP). El CMP es esencial para la producción de zafiro y obleas de semiconductores.

Las placas de pulido y lapeado de zafiro de cerámica de alúmina de alta pureza (99,7 %) de Chemshun Ceramics se fabrican mediante el proceso PIBM, una tecnología avanzada de desarrollo internacional. PIBM resuelve con éxito el problema clave de las grietas y deformaciones en cerámicas de alúmina de gran tamaño. La tecnología PIBM abrirá nuevas perspectivas en el campo de la cerámica fina.

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Detalles del producto

Solicitud

Como los discos de pulido de obleas de cerámica de alúmina y los discos de lapeado de zafiro utilizados en semiconductores, pulido de diamantes, etc.

Proceso: Todo tipo de procesos de pulido y lapeado, como el pulido químico-mecánico (CMP), el pulido mecánico y el pulido de precisión.

Característica

Alta pureza y durabilidad química
Alta resistencia mecánica y dureza
Alta resistencia a la corrosión
Resistencia a alto voltaje
Resistente a altas temperaturas hasta 1700ºC.
Rendimiento de resistencia a la abrasión extremadamente alto
Excelente rendimiento de aislamiento
Todo tipo de tamaños 180, 360, 450, 600 mm, etc.

Nombre del producto	Discos de pulido y lapeado de cerámica de alúmina de alta pureza (99,7%).
Material	99,7% de alúmina
Tamaño normal	D180, 360, 450, 600 mm; también se aceptan tamaños personalizados.
Color	Marfil
Solicitud	Proceso CMP de obleas y zafiros en la industria de semiconductores.
Pedido mínimo	1 foto

Información química/física

		Unidad	Cerámica de alúmina 99,7
Propiedades generales	contenido de Al2O3	% en peso	99,7-99,9
	Densidad	gm/cc	3,94-3,97
	Color	-	Marfil
	Absorción de agua	%	0
Propiedades mecánicas	Resistencia a la flexión (MOR) 20 ºC	MPa (psix10^3)	440-550
	Módulo de elasticidad a 20ºC	GPa (psix10^6)	375
	Dureza Vickers	GPa (kg/mm²) R45N	>=17
	Resistencia a la flexión	Promedio de calificaciones	390
	Resistencia a la tracción a 25ºC	MPa (psix10^3)	248
	Tenacidad a la fractura (KI c)	MPa* m^1/2	4-5
Propiedades térmicas	Conductividad térmica (20ºC)	W/mk	30
	Coeficiente de dilatación térmica (25-1000ºC)	1 x 10⁻⁶/ºC	7.6
	Resistencia al choque térmico	ºC	200
	Temperatura máxima de uso	ºC	1700
Propiedades eléctricas	Rigidez dieléctrica (1 MHz)	ac-kV/mm (ac v/mil)	8.7
	Constante dieléctrica (1 MHz)	25ºC	9.7
	Resistividad volumétrica	ohmio-cm (25ºC)	>10^14
		ohmio-cm (500ºC)	2×10^12
		ohmio-cm (1000ºC)	2×10^7

Servicio

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