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Placa de pulido de oblea de alúmina al 99,7% con orificio

Breve descripción:

La placa de pulido de obleas de alúmina de alta pureza con orificios se utiliza en las industrias de semiconductores, petróleo, química, fotovoltaica, cristal líquido y otras, como piezas mecánicas, electrónicas, discos de inducción de microondas, materiales aislantes y otras piezas, dispositivos semiconductores, equipos de vacío, equipos de fabricación de cristal líquido y otras piezas. Las cerámicas de alúmina de gran tamaño y alta pureza tienen un importante valor de aplicación en la industria del zafiro y la industria de chips semiconductores. Son un soporte y consumible clave para el pulido químico-mecánico (CMP) de obleas de zafiro y silicio semiconductor. Las cerámicas de alúmina de gran tamaño y alta pureza también se pueden utilizar como sustrato de alúmina para LCD.

 


Detalles del producto

Características del producto

Alúmina de alta pureza, 99,7%-99,9% de alúmina.

Alta resistencia mecánica, alta resistencia al desgaste, alto aislamiento eléctrico, alta estabilidad química, buena resistencia al calor y a la corrosión. Actualmente, el uso de discos de molienda de cerámica para el rectificado de obleas de silicio semiconductoras es el método de rectificado más avanzado y de vanguardia. El proceso de rectificado de doble cara se utiliza para rectificar la oblea de silicio cortada, y la calidad de la oblea rectificada se mejora optimizando el proceso de rectificado (material del disco, fluido de rectificado, presión y velocidad de rectificado, etc.). En particular, el uso de placas de cerámica en lugar de placas de hierro fundido evita las marcas o la contaminación causadas por el rectificado en la superficie principal de la oblea, reduce la introducción de iones metálicos, puede reducir el procesamiento posterior del silicio, acortar el tiempo de procesamiento posterior (corrosión), mejorar la eficiencia de producción y reducir la pérdida de silicio en el procesamiento, mejorando significativamente la utilización del silicio.

 

Parámetros químicos/físicos

propiedad
Densidad (g/cm³)

3,94-3,97

Pureza (%)

99,7-99,9

Dureza Vickers (GPa)

≥17

Resistencia a la flexión en tres puntos (MPa)

440-550

Coeficiente de difusión térmica (cm²/s)

0,0968

Módulo de elasticidad (GPa)

356

 

Especificaciones del producto

Disco o anillo de alúmina de alta pureza de Φ850 mm de diámetro y 45 mm o menos de espesor (el tamaño se puede personalizar).
También podemos fabricar cerámicas de alta gama con las siguientes especificaciones:
1, 1500x600x25mm debajo de la tabla larga, tira, tabla cuadrada, lámina;
2. Rieles guía inferiores a 1000x45x45 mm;
3, tubería vacía, cilindro, tubo de vacío eléctrico, etc., de φ300~600 x longitud de 500 mm o menos.
4. Puede personalizar una variedad de formas y especificaciones de productos cerámicos de alúmina de alta pureza.

 

Ventajas de la cerámica Chemshun

Contamos con derechos de propiedad intelectual independientes sobre el proceso de moldeo autocurable PIBM, especializado en la producción de componentes cerámicos finos de alta calidad. Este nuevo proceso supera la deformación y el agrietamiento de los lingotes cerámicos húmedos de gran tamaño durante su preparación, optimizando significativamente el rendimiento del producto en comparación con las piezas cerámicas de gran tamaño fabricadas mediante métodos tradicionales.
El disco de pulido de cerámica de alúmina producido por Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd. utiliza el proceso de moldeo autocurable PIBM. La avanzada tecnología PIBM, de alcance internacional, ha resuelto con éxito el problema clave de la deformación por agrietamiento en la alúmina de gran diámetro. La tecnología cerámica PIBM abre nuevas perspectivas para la industria cerámica. No solo producimos placas de pulido de cerámica de alúmina de alta calidad, sino que también ofrecemos otras series de cerámica de alúmina de gran tamaño y alta pureza, como sustratos cerámicos de 1200*500*20 mm para equipos de fabricación de LCD, rieles de transmisión de semiconductores, componentes de vacío, piezas mecánicas generales y cerámica antibalas.

 

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